Inspec RTR AOI/AVI 自动检查机
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产品特色
- 卷对卷自动光学检查机
- 连续式基板缺陷光学检查，检查不停止，检查速度可达360m/小时(L/S:35um)。
- 搭配高分辨率CCD，可检查7/7um以上的线宽/线距。
- 运用测长线功能，实现低过检/低漏检的缺陷检查。
- 可选择搭配RTR缺陷复检机/Soft verify/Punch机。
产品信息
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原厂名称
Inspec Inc. -
制程名称
内层/外层/外观缺陷检查 -
英文名称
RTR AOI/AVI Automatic Inspection Machine -
产品细目
客制光学表面检查机
